四、芯片制造领域

在芯片制造环节，需要用到各种芯片制造设备、需要用到各种半导体材料，这个几个方面也是大基金二期关注的方向。具体包括：

芯片材料之硅片，中环股份，上海新阳，晶盛机电，沪硅产业，

芯片材料之特种气体，金宏气体，华特气体，雅克科技，南大光电，昊华科技，和远气体，巨化股份，凯美特气

芯片材料之抛光材料 ，安集科技，鼎龙股份，江丰电子，

芯片材料之靶材 ，江丰电子，阿石创，隆华科技，有研新材

芯片材料之高纯试剂 ，上海新阳，江化微，晶瑞股份，巨化股份。

芯片制造上游材料：神功光伏，菲利华，石英股份。

芯片制造之光刻胶，晶瑞股份，江化微，南大光电，飞凯材料，宝通科技，智光电气

光刻机，上海微电子，华卓精科，启尔机电，国科精密，万业企业，张江高科东方中科，奥普光电，赛微电子，晶方科技，蓝英装备，苏大维格，上海新阳

芯片制造设备，晶盛机电，北方华创，至纯科技，万业企业，长川科技，精测电子，华峰测控，大族激光，光力科技。

刻蚀机设备 ，中微公司，北方华创。

PVD 设备，北方华创，中天科技，苏美达，北玻股份，碧水源

CVD设备，捷佳伟创，北方华创，中微公司，沈阳拓荆

离子注入机设备，中科信，万业企业

炉管设备，北方华创，晶盛机电

检测设备，精测电子，华峰测控

清洗机设备，北方华创，至纯科技，盛美半导体

其他设备：芯源微，大族激光，锐科激光

芯片制造企业，三安光电，士兰微，扬杰科技，华微电子，上海贝岭，纳思达